鏈帶式焊接爐主要應(yīng)用于半導(dǎo)體器件,金屬陶瓷,可控硅器件,玻璃封裝器件以及各種厚膜電路等焊接和燒結(jié)的連續(xù)工作的隧道式結(jié)構(gòu)熱處理爐。
一、主要技術(shù)指標(biāo)
1、設(shè)計(jì)溫度:≤700℃
2、工作溫度:300℃~600℃
3、爐內(nèi)控溫:±5℃
4、儀表控制精度:±1℃
5、設(shè)備總長度:約10600mm;進(jìn)出口臺面各為:800mm。
6、加熱區(qū)長度:≤3000mm(6段加熱)
7、冷卻區(qū)長度:≥6000mm
8、冷卻方式:水冷
9、加熱方式:四周剛玉加熱板內(nèi)嵌加熱絲
10、控制方式:過零觸發(fā)
11、控溫段數(shù):6段 每段溫度可調(diào),獨(dú)立顯示,日本島電溫控儀
12、功率分配:每段10~12KW
13、升溫時(shí)間:≤80min(室溫升至600℃)
14、傳送帶速度:50-200mm/min可調(diào),(鏈條控制精度:≤±2mm/min) 常用速度為150mm/min
15、氣路系統(tǒng):保護(hù)氣體為氮?dú)?、氫氣、氫氮混合氣?span>5路浮子流量計(jì)(流量計(jì)0-40L/ min),4路氮?dú)猓?span>1路氫氣,配備氮?dú)浠鞖獍?,廢氫燃燒裝置。
16、爐膛尺寸:高度185mm,寬度270mm(滿外)
17、鏈帶寬度:240mm,高度:10mm
18、設(shè)有**溫,斷偶,停帶,缺水,氣壓高、低報(bào)警
19、兩端設(shè)有氣幕和機(jī)械幕簾,機(jī)械幕簾高度30mm, 2塊幕簾均分
20、供電方式:加熱系統(tǒng)采用220VAC(三相四線),控制系統(tǒng)采用110伏**電。
21、開機(jī)最大功率:≤72KW
22、正常運(yùn)行功率:≤30KW
23、爐體外形尺寸:總高度約1380mm,總長度約10600mm,操作臺高度約800mm
24、爐膛出口處配有出料報(bào)警提示裝置
二、鏈?zhǔn)胶附訝t的組成
1、整體結(jié)構(gòu)部分:
鏈帶式焊接爐設(shè)備組合體由進(jìn)端工作臺,出端工作臺,設(shè)備主體,進(jìn)料工作通道,主工作通道,加熱器,出料工作通道,保護(hù)板等組成。
(1)設(shè)備主體結(jié)構(gòu)和主要部分:
整機(jī)設(shè)備呈水平長條狀結(jié)構(gòu),要求物料左進(jìn)右出(或右進(jìn)左出,根據(jù)廠房確定)。整機(jī)分為機(jī)頭,主機(jī),機(jī)尾,主機(jī)部分為機(jī)架,傳動(dòng)系統(tǒng),爐膛,水冷卻,電器控制部分。
設(shè)備主體骨架,進(jìn)端工作臺,出端工作臺的骨架用碳鋼焊成,工作臺面采用1Cr18Ni9Ti不銹鋼板材制成,其設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)合理,穩(wěn)定。內(nèi)部管線要求排列整齊,規(guī)范,不得縱橫交錯(cuò)。
設(shè)備的底部設(shè)計(jì)有調(diào)節(jié)地腳,以保證整體設(shè)備調(diào)整在理想的水平狀態(tài)。
為方便設(shè)備操作人員座、立操作的方便舒適,工作臺和主體設(shè)備的高度均按人體工程學(xué)的原理要求設(shè)計(jì)在較佳的位置狀態(tài)。
(2)進(jìn)出料通道:
兩端通道是氣體封口的關(guān)鍵部件,它是由氣體幕簾,機(jī)械幕簾組成,同時(shí)通道內(nèi)設(shè)計(jì)**械幕簾,簾片0.2-0.3厚的不銹鋼箔組成,由數(shù)片不銹鋼箔片和氣幕的組合,有效地封閉料口使空氣不能進(jìn)入爐膛,起到封閉作用使工藝器件不氧化。
為了保證進(jìn)出幕簾通道的氣密性,在部件的制作過程及程序上,嚴(yán)格按工藝要求進(jìn)行氣密性試驗(yàn)。
(3)工作通道:
工作通道是處在加熱區(qū)的關(guān)鍵部件,其材料是用耐熱不銹鋼制作而成,其兩端分別與進(jìn)幕通道和冷卻通道的進(jìn)端焊接。
為保證加熱區(qū)內(nèi)的進(jìn)氣分布均勻合理,分別在加熱區(qū)通道的左右側(cè)面有進(jìn)氣通道,氣體均勻分布,可達(dá)到理想的保護(hù)效果。
(4)冷卻通道
冷卻通道是由不銹鋼板材制作而成,它是保證隨鏈帶從加熱區(qū)出來的器件得到理想的冷卻效果,為保證這一效果而將冷卻通道由水冷卻區(qū)組成,總長大于1500mm。冷卻水箱在通道的外部四周,采用逆向冷卻方式然后流出。該設(shè)計(jì)通過充分的循環(huán)達(dá)到冷卻的良好效果,在循環(huán)過程中,不形成死角。冷卻通道在制作程序行嚴(yán)格按照工藝要求進(jìn)行氣密性試驗(yàn)。
(5)加熱器及加熱形式:
加熱采用剛玉掛板加熱,保證加熱器壽命,加熱為四周加熱方式,保證加熱均勻性,維修更換方便。保溫材料采用氧化鋁保溫棉,重量輕,保溫效果好。
(6)設(shè)備外護(hù)板:
外裝飾爐板及**板用厚1mm鋼板制作,噴塑處理。**部蓋板用料與外裝飾護(hù)板一致,散熱孔按甲方*的式樣沖制,外裝飾護(hù)板表面要求平整,無凹凸不平現(xiàn)象。機(jī)架內(nèi)裝有爐體,工作通道,水氣管路系統(tǒng)及冷卻水套,傳動(dòng)系統(tǒng),電器控制系統(tǒng)及加熱保溫元件。
(7)尾氣處理:
1、針對工作過程中產(chǎn)生的煙霧廢氣,在爐膛的兩端分別加裝排氣罩。工作時(shí)因爐膛內(nèi)為微正壓,故煙霧和廢氣會隨排氣罩通過管道排到室外。
2、廢氫燃燒裝置,隧道爐的進(jìn)出工作腔體的兩端各有一套廢氫燃燒裝置,保證廢氫能及時(shí)處理,杜絕安全隱患
3、氫氣管路上安裝有單向閥門,實(shí)現(xiàn)氫氣使用的**安全。
2、機(jī)械傳動(dòng)部分:
(1)驅(qū)動(dòng)動(dòng)力:在傳動(dòng)上,采用擺線針輪減速機(jī),選用這種減速機(jī)其特點(diǎn)是:瞬間轉(zhuǎn)速比穩(wěn)定可靠,傳速比大可獲得較大的調(diào)速范圍。
(2)采用變頻器的控制,帶速調(diào)節(jié)方便直觀,且傳動(dòng)穩(wěn)定,調(diào)整范圍大,安全可靠,并且有過載保護(hù)的功能。
(3)為防止鏈條受熱和受力的延長,在主動(dòng)輪后加一套鏈條漲緊機(jī)構(gòu)。
主要指標(biāo):
① 變頻控制帶速(可隨時(shí)調(diào)整)
② 帶速范圍:50-300mm/min,常用速度為150mm/min
③ 傳動(dòng)故障時(shí)有停帶或鏈帶打滑報(bào)警裝置
④ 鏈傳動(dòng)帶:材料為304不銹鋼,穿絲3.0mm,繞絲2.5mm。在高溫使用中承載能力大,拉力一致,鏈帶應(yīng)力小,使用壽命長,延伸率低
⑤ 鏈帶傳動(dòng)結(jié)構(gòu)
鏈帶傳動(dòng)結(jié)構(gòu)安裝在設(shè)備出口端的主體框架內(nèi),由減速機(jī),鏈條,鏈輪傳動(dòng),大膠輪因表面6-8mm的硬質(zhì)橡膠,鏈帶在運(yùn)行時(shí)才能平穩(wěn),不振動(dòng),從而保證了鏈帶在運(yùn)行中的傳動(dòng)比,同時(shí)在大膠輪的上方設(shè)有壓緊機(jī)構(gòu),使大膠輪有較大的包角,從而增加了摩擦力。具有停電手動(dòng)出料裝置和機(jī)械離合裝置。
3、氣路部分:
氣路系統(tǒng)由浮子流量計(jì),管路,閥門組成,在爐膛進(jìn)出口四周進(jìn)氣的氣幕簾,爐膛加熱區(qū)為兩側(cè)進(jìn)氣,以確保產(chǎn)品不被氧化,并使氮?dú)庥昧枯^小。
氣路共設(shè)4路氣體,兩路封口,兩路直接向爐膛加熱段供氣。操作面板分別裝有氮?dú)饬髁坑?jì)和手動(dòng)截止閥。
① 兩端封口各一路氣,以防止外面的空氣進(jìn)入爐膛。
② 工藝保護(hù)氣左右二股氣流,直接形成交合產(chǎn)生渦流受熱膨脹,在爐膛內(nèi)形成均勻的漩渦和正壓,并向兩端擴(kuò)散,使被燒結(jié)的器件在均勻的氣流中得到充分的保護(hù)。
③ 氣壓報(bào)警:氣源壓力小于或**工藝壓力時(shí)有報(bào)警器提示,應(yīng)立即檢查氣路排除故障。
4、冷卻部分:
根據(jù)產(chǎn)品焊接工藝的要求,在焊接完成后進(jìn)入水冷卻區(qū)進(jìn)行快冷,以達(dá)到出口要求的溫度。
(1)采用水冷,保證冷卻效果。
(2)用水壓力不大于0.2MPa。
(3)用水量:大于1 m3/h,可在工作中根據(jù)器件出口溫度和鏈帶速調(diào)整用水量。
5、報(bào)警功能:
(1)**溫報(bào)警:
(2)斷偶報(bào)警
(3)鏈帶停帶,打滑報(bào)警
(4)缺水報(bào)警
(5)停氣報(bào)警,氣壓低,氣壓高報(bào)警
三、售后服務(wù):
1、乙方嚴(yán)格遵守國家有關(guān)部門規(guī)定的“三包”政策,整機(jī)設(shè)備保修期為一年,一年之內(nèi)非人為造成損壞,凡屬正常使用出現(xiàn)任何質(zhì)量問題,廠家都無條件給予快速免費(fèi)維修。
2、保修期內(nèi),設(shè)備如發(fā)生故障,接用戶電話后2小時(shí)內(nèi)給予答復(fù),乙方為用戶提供設(shè)備維修人員的技術(shù)指導(dǎo),對用戶的設(shè)備操作人員提供技術(shù)支持。
3、乙方為用戶提供本設(shè)備的有關(guān)技術(shù)資料和使用手冊。
詞條
詞條說明
空爐(vacuum furnace)是真空環(huán)境中進(jìn)行加熱的設(shè)備。在金屬罩殼或石英玻璃罩密封的爐膛中用管道與高真空泵系統(tǒng)聯(lián)接。爐膛真空度可達(dá)133×(10-2~10-4)h。爐內(nèi)加熱系統(tǒng)可直接用電阻爐絲(如鎢絲)通電加熱,也可用高頻感應(yīng)加熱。較高溫度可達(dá)3000℃左右。主要用于陶瓷燒成、真空冶煉、電真空零件除氣、退火、金屬件的釬焊,以及陶瓷-金屬封接等。 目 錄 1概述 2構(gòu)造 3原理 4功能 5
LPCVD設(shè)備維修及應(yīng)用 低壓化學(xué)氣相淀積設(shè)備使用與維護(hù)技術(shù) LPCVD是大規(guī)模集成電路(LSI)和**大規(guī)模集成電路(VLSI)以及半導(dǎo)體光電器件工藝領(lǐng)域里的主要工藝之一。 PCVD技術(shù)可以提高淀積薄膜的質(zhì)量,使膜層具有均勻性好、缺陷密度低、臺階覆蓋性好等優(yōu)點(diǎn),成為制備Si 3N4薄膜的主要方法。熱壁LPCVD設(shè)備使用過程中出現(xiàn)薄膜的淀積速率、薄膜的均勻性、片內(nèi)均勻性、片間均勻性不理想等問題,提
鏈帶式焊接爐技術(shù)方案 鏈帶式焊接爐主要應(yīng)用于半導(dǎo)體器件,金屬陶瓷,可控硅器件,玻璃封裝器件以及各種厚膜電路等焊接和燒結(jié)的連續(xù)工作的隧道式結(jié)構(gòu)熱處理爐。 一、主要技術(shù)指標(biāo) 1、設(shè)計(jì)溫度:≤700℃ 2、工作溫度:300℃~600℃ 3、爐內(nèi)控溫:±5℃ 4、儀表控制精度:±1℃ 5、設(shè)備總長度:約10600mm;進(jìn)出口臺面各為:800mm。 6、加熱區(qū)長度:≤3000mm(6段加熱) 7、冷卻區(qū)長
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