真空3軸圓柱坐標(biāo)型_晶圓搬送機(jī)械

時(shí)間：2021-11-16

真空3軸圓柱坐標(biāo)型_晶圓搬送機(jī)械


真空3軸圓柱坐標(biāo)型_晶圓搬送機(jī)械特點(diǎn)： 
真空3軸圓柱坐標(biāo)型機(jī)械手臂SVCR3000系列
雙手指結(jié)構(gòu)可以在真空腔室內(nèi)搬運(yùn)4kg以下的托盤
相比LVHR系列機(jī)械手臂具有較好的性價(jià)比優(yōu)勢
手臂關(guān)節(jié)處使用磁流體密封裝置
真空密封：磁流體密封裝置和波紋管
提高潔凈度的方法：手臂內(nèi)部排氣口安裝5μm級過濾器
配備動(dòng)作監(jiān)視器
控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
全軸采用2相步進(jìn)電機(jī)
S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓
可以選配2相步進(jìn)電機(jī)規(guī)格
手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)
晶圓固定方式：下托式，利用晶圓自重的邊緣夾持式
可以針對搬運(yùn)物體，客戶設(shè)備布局的實(shí)際情況提供較優(yōu)的手指



真空3軸晶圓搬送機(jī)械臂基本參數(shù)：
使用環(huán)境                   潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境真空
手臂                         單臂
到達(dá)距離                   640mm (手臂*3關(guān)節(jié)中心到達(dá)距離)
升降軸較大行程         60mm
可搬運(yùn)質(zhì)量                10kg (手臂*3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn))



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詞條
詞條說明
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