上海伯東提供適用于薄膜太陽能電池生產(chǎn)的離子源和真空系統(tǒng)


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  • KRi 射頻離子源 IBSD離子束濺射沉積應(yīng)用

    上海伯東美國?KRi 考夫曼 RF 射頻離子源, 燈絲提供高能量, 低濃度的寬束離子束, 離子束轟擊濺射目標(biāo), 濺射的原子(分子)沉積在襯底上形成薄膜, IBSD 離子束濺射沉積 和 ?IBD 離子束沉積是其典型的應(yīng)用.KRi?離子源在 IBSD 離子束濺射沉積應(yīng)用通常安裝兩個離子源主要濺射沉積源和二次預(yù)清潔 / 離子輔助源一次氣源為惰性氣體, 二次氣源為惰性或反應(yīng)性

  • 分子泵組應(yīng)用于低溫真空探針臺

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  • KRI 考夫曼射頻離子源濺射沉積立方氮化硼薄膜

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